El 17 de enero de 1945, mientras los nazis alemanes llevaban a los prisioneros de Auschwitz en las "Marchas de la Muerte", las SS del campo se dieron prisa en eliminar las evidencias de los atroces crímenes que habían cometido en el lugar. Hicieron hogueras con los documentos en las calles del campo. El tercer Comandante de Auschwitz, Richard Baer, había elegido a los hombres de las SS que se encargarían de las columnas de prisioneros en el momento de evacuar el campo en las "Marchas de la Muerte". Les ordenó que matasen a todos los que se detuvieran durante la marcha, el hecho de pararse debía considerarse como un intento de fuga.
El 17 de enero de 1945, Josef Mengele cerró el lugar donde realizaba los experimentos con personas, principalmente gemelos y romaníes. El lugar estaba ubicado en la sección BIIf de Auschwitz II-Birkenau. Se fue y se llevó toda la documentación relacionada con sus experimentos. Al mismo tiempo, a los presos que eran médicos en Auschwitz III-Monowitz se les pidió que realizaran una selección muy exhaustiva para decidir quién podía caminar y quién no. Todos los prisioneros que pudieran caminar debían de ser evacuados, y los prisioneros enfermos debían de ser dejados en el campo.
Entre el 17 y el 21 de enero de 1945, las SS evacuaron a unos 56.000 prisioneros entre los campos y subcampos, obligándoles a caminar decenas de kilómetros bajo las condiciones climatológicas severas del invierno. Las principales rutas de la marcha fueron a través de Wodzisław Śląski y Gliwice, desde donde los prisioneros fueron transportados en trenes a otros campos de concentración. Sin embargo, algunos de los prisioneros se vieron obligados a caminar hasta el campo de destino. Más de 3.000 prisioneros del subcampo de Neu-Dachs, en Jaworzno, se vieron obligados a cubrir la distancia de más de 255 km caminando hasta el campo de concentración nazi alemán de Gross-Rosen. Unos 800 prisioneros del subcampo de Janinagrube, en Libiąż, fueron forzados a caminar hasta el campo de concentración nazi alemán de Gross-Rosen, sin protección contra el frío y con muy poco comida para los 18 días que duró la marcha. Sólo 200 de ellos llegarón exhaustos a su destino.
El 17 de enero de 1945, fue evacuado el subcampo de Sosnowitz. Les dieron algunas sobras de la cocina del subcampo y se vieron obligados a comenzar a caminar alrededor de las 4 de la madrugada en dirección a Gliwice, luego a Racibórz y de allí a Opawa. Allí fueron cargados en vagones de carga sin techos y transportados hasta el campo de concentración nazi alemán de Mauthausen. El viaje de este subcampo duró en total 16 días. 12 prisioneros fueron obligados a hacer todo el viaje a pie. Los prisioneros también tuvieron que tirar de los carros llenos con el equipaje de los hombres de las SS los cuales mataban a aquellos que no podían hacerlo. Los prisioneros fueron alimentados sólo dos veces durante el tiempo que duró el viaje. Una vez les dieron 3 patatas para cada uno, y otra vez, 2 trozos de queso. La mayoría de ellos murió por el camino.
Zbigniew Tokarski, ex prisionero de Auschwitz recuerda:
“Casi todos los prisioneros fueron sacados del campo por la noche. Sólo las personas muy enfermas, que ya no podían caminar fueron dejadas atrás. Nos dividieron en grupos más pequeños y cada uno de los grupos estaba vigilado por los hombres de las SS. Muchos de nosotros no estábamos preparados. A muchos de nosotros no nos dieron comida. Recuerdo que dormimos en un granero. Por la noche las SS ordenaron un recuento. Todos los que no podían caminar fueron reunidos y ejecutados. Alrededor de unas 200 a 300 personas murieron. Y nos llevaron a Blechhammer. Tardamos cuatro días. ¿Cuántos de nosotros murieron en el camino? Ni siquiera puedo estimarlo".
El 18 de enero de 1945, en el transcurso del día, filas de prisioneros formadas por entre 100 y 500 personas van abandonando Auschwitz en diferentes intervalos de tiempo bajo la vigilancia de las SS. Mientras tanto, continúa la quema de libros y documentos en las oficinas del campo.
El 18 de enero de 1945, en plena evacuación del campo y 9 días antes de la liberación del mismo, Engelbert Marketsch, topógrafo de profesión, llegado desde el campo de concentración nazi alemán de Mauthausen, fue el último prisionero dado de alta con el número 202.499. Se desconoce que ocurrió con él posteriormente.
El 19 de enero de 1945, alrededor de la 1 de la madrugada, la última gran columna de evacuación con 2.500 prisioneros abandonó el campo de Auschwitz.
El 19 de enero de 1945, el Ejercito Rojo soviético llegó a Jaworzno y liberó a unos 400 prisioneros dejados en el subcampo de Neu-Dachs, uno de los más grandes de Auschwitz.
El 20 de enero de 1945, incendiaron los crematorios números II y III, que ya habían sido parcialmente desmantelados. El 23 de enero de 1945, prendieron fuego a los "Kanada II", el lugar donde almacenaban las pertenencias de las víctimas del exterminio.
La noche del 25 al 26 de enero de 1945, a la 1 de la madrugada las SS dinamitan el edificio del Crematorio V en Auschwitz II-Birkenau. Era uno de los últimos esfuerzos para eliminar las evidencias de sus crímenes.
Durante el proceso de evacuación, todos los prisioneros que estaban demasiado cansados para continuar caminando o intentaron escapar fueron asesinados a tiros por las SS. Se ha estimado que alrededor de 3.000 personas murieron de esta manera solo en la región de Alta Silesia y Opole. Entre 9.000 y 15.000 prisioneros de Auschwitz fueron asesinados durante todo el proceso de evacuación.